одноцелевой прибор для нанесения покрытий с магнитным управлением

прибор для нанесения покрытия методом магнитного распыления с одной мишеньюС магнитной мишенью,Источники РЧ - распыления мощностью 300 Вт (или 500 Вт для РЧ или 100 Вт для смещения). При покрытии, по мере необходимости, можно вручную подключиться к источнику впрыска постоянного тока, источнику смещения и источнику впрыска RF. Также в соответствии с потребностями заказчика можно настроить вращающийся стенд для образцов, подогреваемый стенд для образцов, многофункциональный стенд для образцов, высокая рентабельность всей машины, является идеальным оборудованием для покрытия для изготовления различных металлических (или неметаллических) пленок, может быть выбран широкий спектр металлических мишеней и вакуумных систем.
Технические параметры

Входное питание: 220VAC 50 / 60 Гц

Электрический ток распыления: 0 - 150 мА регулируемый

Мощность всей машины: < 2 кВт

Выходное напряжение: верхний предел - 1600VDC

Распыляемая полость: кварцевая, размер: 166 мм OD x 150 мм ID x 290 мм H

6. Вакуумное уплотнение: уплотнение с использованием O - образного уплотнительного кольца

7. Магнитная мишень: 2 - дюймовая головка с магнитным распылением с водяным охлаждением, также может быть выбрана 1 - дюймовая мишень с магнитным управлением по мере необходимости

8, стенд для образцов: стенд для образцов нержавеющей стали диаметром 50 мм, стенд для образцов может вращаться, скорость вращения 0 - 5 RPM и спроектирован с ручным управлением разбрызгивающей перегородкой, расстояние между стендом для образцов и головкой мишени может быть отрегулировано, диапазон регулирования: 30 - 80 мм

9. с опорой головки - мишени, которая может быть размещена в нераспределенном состоянии.

10. Площадь распыления: 4 дюйма

11, вакуумная система: установлен вакуумный интерфейс KF25, цифровой вакуумный манометр (Pa), для работы этой системы требуется ArГаз, и на баллоне установлен декомпрессионный клапан (не включен в оборудование), в соответствии с конкретными потребностями клиента могут быть выбраны различные вакуумные насосы, в соответствии с фактической поставкой.

12, впускной: включает в себя игольчатый клапан, регулирующий впуск, и выпускной клапан Для приема воздуха в этом оборудовании необходимо установить редукторный клапан (можно приобрести в нашей компании декомпрессионный клапан)

13. Требования к размеру мишени: 50mmx (0.1 - 2.5) мм (толщина), подходит для распыления Au, Ag, Cu, Al, Ti и других металлов (может быть приобретен в нашей компании) Для распыления различных металлических мишеней, необходимо исследовать * идеальные параметры распыления, приведенная ниже таблица является параметром, установленным в эксперименте нашей компании

Иногда для достижения идеальной толщины пленки требуется многократное распыление покрытия. Перед распылением покрытия убедитесь, что головка распыления, мишень, фундамент и стенд образца чисты, чтобы достичь хорошего сочетания пленки с фундаментом, перед распылением используйте ультразвуковую очистку поверхности фундамента.

15 Способы очистки фундамента

(1) ультразвуковая очистка ацетона → ультразвуковая очистка изопропанола для удаления жира → сушка азотом → вакуумная сушилка для удаления влаги

（2Плазменная очистка: может быть шероховатой поверхностью, может активировать химические связи поверхности, может удалять дополнительные загрязняющие вещества для создания тонкого буферного слоя (Приблизительно 5 нм): например, Gr, Ti, Mo, Ta, может быть применен для улучшения адгезии металлов и сплавов Эта машина для распыления покрытий может быть распылена в газовой бардачке Ar или N2.