-
Электронная почта
liuyuanzhi@eti-test.com
-
Телефон
19201635557
-
Адрес
Уцзян из Сучжоу отправился в район экономического развития Тунли
Сучжоу Итай
liuyuanzhi@eti-test.com
19201635557
Уцзян из Сучжоу отправился в район экономического развития Тунли

I. ОБЩИЙ ОБЗОР:
Лазерный счетчик частиц пыли ET - R101FS является одним из продуктов системы онлайн - мониторинга компании Yitai Environmental Technology Co., Ltd. в Сучжоу. Проверка минимального размера частиц до0,1 мкмМожет обнаруживать чистую среду ISO7 - ISO1, поток отбора проб 2.83L / min, специально предназначенный для высокоточного и чистого экологического обнаружения в полупроводниковой промышленности, нарушать традиционные ограничения точности, точно захватывать летучие фоторезисты, субмикронные загрязняющие частицы, возникающие в результате износа оборудования, для удовлетворения нанотехнологических процессов на уровень чистоты ISO1 строгие требования. Инструменты имеют высокую точность обнаружения, дружественный интерфейс человека и машины, богатые функции, простая работа.
Данный продукт может быть широко использованполупроводник、Электронные,Оптические,Новые источники энергии, прецизионные машины,Химия, фармацевтика и гигиена, биологические продукты, аэрокосмическая промышленность,В таких секторах как.
II. Особенности:
Корпус из нержавеющей стали 304 (настраиваемый авиационный алюминий)
5.0 Сверхбольшой цветной сенсорный экран высокой четкости, простая работа
• Минимальный диаметр измеренных частиц 0,1 мкм, восемь каналов
Около 5 миллионов хранилищ данных + USB - экспорт данных + облачное подключение
Поддержка стыковки систем SCADA / MES
Интеллектуальная система управления питанием ESD
• ISO 14644 - 1 Автоматическое генерирование отчетов об уровне чистоты
Активное управление потоком PID автоматическое регулирование
♦ Требования к взрывозащищенности настроены, взрывозащищенные только иглы для взрывозащищенной оболочки, в частности, в соответствии с потребностями клиента для пары определенных систем.
III. Производительность:
♦Поток выборки: 2.83л/мин ±5(0,1 CFM)
♦Ошибка распределения размеров частиц*Гоюй±20%ФС
♦Ошибка индикаторной концентрации*Гоюй±20%ФС
♦Время самоочищения*Гоюй8мин
♦повторяющаяся относительная погрешность*Гоюй8%FS
♦Концентрация проб,35 000 шт. / л
♦домалоХранение 5 000 000 образцов данных
IV. ПРИМЕНЕНИЕ:
Проверка полупроводниковых очистных сооружений;
Мониторинг линии упаковки кристаллического круга;
Мониторинг фотолитографических линий;
Точная оптика;
Новые источники энергии;
Аэрокосмическая деятельность;
V. Технические параметры:
Пробный расход |
2.83л/мин |
Распределение частиц по диаметру |
Восемь каналов:0,1 мкм, 0,15 мкм, 0,2 мкм, 0,25 мкм, 0,3 мкм, 0,5 мкм, 1,0 мкм, 5,0 мкм |
Лазерный источник света |
Долгоживущий лазерный диод, срок службы >35 000 часов |
Концентрация проб |
1 000 000 кубических футов |
Выбор пробрежим |
Непрерывная выборка+ Счет в реальном времени, выборочный интервал, кумулятивный счет |
Эффективность счёта |
50% @ 0,1 мкм; 100% @> 0,15 мкм 符合 ИСО21501-4 |
задержка отбора проб |
Пользователь настраивает |
Интервал отбора проб |
Пользователь настраивает |
Соглашение о связи |
Модбус |
Средства связи |
RS485 и Интернет |
Объем памяти данных |
АПять миллионов.Группа измерительных данных, можно запросить,экспорт |
Показать экран |
5.0цветнойвысокая четкостьСенсорный экран |
Режим печати |
Онлайн не поддерживается |
электричество Источник |
Выходная мощность DC12V (9 - 28VDC) не менее 12V3A |
Ссылки |
ISO 21501-4, GBT29024.4-2017, JJF1190-2008 |
Интерфейс передачи данных |
USB (Прямой экспорт илиСмотреть онлайн - систему мониторинга IOT)А,RS485 иРЖ45 |
кольцо Б |
Использование среды:10 ОО40Относительная влажность 20 ∽95%RH |
Среда хранения:-2Относительная влажность 0°C ∽ 45°C95% RH | |
Атмосферное давление:86-106 кПа | |
Стандартные запчасти |
Равнодинамическая пробоотборная головка, шланг пробоотборника, самоочищающийся фильтр, инструкция по эксплуатации, отчет о калибровке завода, сертификат соответствия и т.д. |
Габаритные размеры |
широкий220мм × высота162мм × глубина130Мм (безПробные отверстия, сигнализаторы) |
материал А |
304нержавеющая сталь |
тяжёлый А |
2.8кг |
VI. Etiedt Yitai Chick:
Suzhou Yitai Environmental Technology Co., Ltd. отечественное оборудование для обнаружения чистой окружающей среды Интеллектуальное инновационное применение передовых предприятий;
Импортные приборы отечественного производства заменяют новые силы бренда;
Внутренние поставщики услуг бренда очистки, поставщики качественных услуг очистки;
Чистые микроэкологические интеллектуальные приборы мониторинга Полный набор решений Профессиональные предприятия
Полупроводниковая чистая окружающая среда обнаружения, Yitai Chinko E серия лазерных счетчиков частиц пыли уровень обнаружения может соответствовать от 10 до 300 000 уровней обнаружения окружающей среды;
Онлайн - счетчик частиц пыли 0,1 мкмОнлайновая система мониторинга;
Онлайн - счетчик частиц пыли 0,1 мкмОнлайновая система дистанционного мониторинга окружающей среды