Молекулярный насос LOW - E

PfeifferПрименение молекулярных насосов в производственных линиях LOW - E (низкоизлучающее стекло)
LOW - E, полное название Low emissivity, представляет собой стекло с низким уровнем излучения. По сравнению с теплоотражающим стеклом это новый тип энергосберегающего стекла. В настоящее время в мире широко используется технология вакуумного магнитного распыления покрытия (оффлайн - метод) для производства стекла Low - E. Немецкая компания Pfeiffer продаетМолекулярный насосУспешно применяется к этому.

Принцип:: Стекло размещается вертикально на полке и подается в вакуумную среду величиной 10 - 1 Па, подавая соответствующее количество технологического газа (инертный газ AR или реакционный газ O2, N2) и поддерживая стабильность вакуума. Цели Ag, Si и т. Д. Встраиваются в катод и помещаются в магнитное поле в горизонтальном направлении, перпендикулярном катоду, образуя мишень с магнитным управлением. С магнитной мишенью в качестве катода, плюс источник постоянного тока или переменного тока, под действием высокого напряжения технологический газ ионизируется, образуя плазму. Среди них электроны в сочетании с электрическим полем и магнитным полем, проводят высокоскоростное спиральное движение, сталкиваются с молекулами газа, производят больше положительных ионов и электронов; Положительные ионы под действием электрического поля достигают определенной энергии после удара катодной мишенью, брызгая мишень осаждается на стеклянной основе, образуя тонкую пленку. Чтобы сформировать однородную и последовательную мембрану, катодная мишень перемещается взад и вперед вблизи поверхности стекла. Для получения многослойной пленки необходимо использовать несколько катодов, каждый из которых перемещается взад и вперед по стеклянной поверхности, образуя определенную толщину пленки.

Немецкий PPEIFFER завоевал популярность среди клиентов на рынке LOW - E благодаря своему более чем 120 - летнему опыту вакуумного производства и послепродажному обслуживанию и технической поддержке по всему миру. Компания VON ARDENNE является наиболее типичным клиентом. PFEIFFERМолекулярный насосПроизводственная линия LOE - E используется в Xinyi стекла, Nanbo и других китайских гигантов по производству стекла.
PfeifferМолекулярный насосПреимущества:

• Несколько скоростей на выбор клиента со скоростью от 1000 до 2000 л / с
• Для H₂, He & Ar, CF₄Высокая скорость откачки.
• Место установки от 0 до 90 градусов, от 90 до 180 градусов.
• Высокий поток газа, даже Ar, CF₄
• Встроенный привод TC 1200 может напрямую подключаться к источнику питания
• Коррозионная стойкость на выбор
• Богатый интерфейс: RS - 485 и удаленное управление; Есть выбор между Profibus и Devicenet.
• Классы IP 54 и Semi S2
• Стабильная и безопасная система подшипников ротора
• Соответствует стандартам UL, CSA и TUV
• Простая установка