Лабораторный холодильный аппарат

Лабораторный холодильный аппарат

Лабораторный холодильный аппарат

Ниже приведены технические аналитические и прикладные точки применения преобразователя частоты глубокого охлаждения для обеспечения источника холода для процесса производства полупроводников, в сочетании с отраслевыми потребностями и данными поиска:

Основные сценарии применения в производстве полупроводников

1Ключевые процессы изготовления кристаллов

Фотолитография: требуется быстрое охлаждение фотолитографии（Как лазер, линза.)Избегайте колебаний температуры, которые приводят к изменению вязкости фоторезиста, влияя на точность экспозиции. Глубинный охладитель переменной частоты реализуется путем динамического регулирования скорости компрессора±0.1℃Точность терморегулирования, обеспечивающая разрешение чипа.

2Коррозия и осаждение пленки

Плазменная коррозия иCVD / PVDВ процессе температура реакционной полости должна быть стабильной-40℃~200℃Широкий температурный диапазон, преобразователь глубинного охлаждения через многоступенчатую систему охлаждения（Как в случае с полупроводниковым охладителем)Быстро выводит тепло, влияет на побочные реакции и повышает однородность пленки.

3Чистка и полировка кристаллического круга

Температура очищающей жидкости должна быть точно контролирована, чтобы химический раствор не повредил поверхность кристаллического круга из - за колебаний температурыCMP;Охлаждение полировочных прокладок в процессе уменьшает дефекты поверхности, вызванные теплом трения.

4Сфера упаковки и тестирования

Закрепление чипа, отжиг и другие процессы заднего хода, глубокое охлаждение обеспечивает-80℃Криогенная среда（Если использовать гликолевые хладагенты)Ускорить процесс отверждения и снизить тепловое напряжение, повысить надежность упаковки.

II. Элементы выбора и эксплуатации

Соответствие холодильной мощности

Запасы должны быть зарезервированы в соответствии с пиковой тепловой нагрузкой процесса, например, номинальным теплоотводом оборудования для травления50 кВтВыберите количество охлаждения≥60 кВтГлубокий холодильный агрегат.

Экологическая адаптация

Чистая комната должна быть оборудованаHEPAСистема фильтрации* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *Коррозионная среда Предпочтение отдается материалам из титанового сплава* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *Взрывозащищенность требует выбора места для изоляции взрывозащищенной модели.

Преобразовательная машина глубокого охлаждения с широким диапазоном температур, высокой точностью и интеллектуальными преимуществами, выбор должен учитывать технологическую адаптацию, вы можете связаться с инженером - термостатом Гуанья, чтобы предоставить вам услуги по выбору.