Химическая лаборатория Холодильная машина. Нестандартная настройка точно соответствует требованиям

Химическая лаборатория Холодильная машина. Нестандартная настройка точно соответствует требованиям

Химическая лаборатория Холодильная машина. Нестандартная настройка точно соответствует требованиям

Полупроводниковый завод холодильной установки в высокопроизводительных термостатических применениях должен соответствовать требованиям строгой температурной стабильности, быстрого охлаждения и коррозионной стойкости, а также следующим основным сценариям применения и техническим точкам анализа:

Типичное применение в сценариях с высокой теплоотдачей

1Процесс травления（Как плазменное травление)

Высокочастотное электрическое поле генерирует мгновенную высокую температуру, машина холодной воды должна быстро рассеивать тепло, чтобы поддерживать стабильность температуры полости, чтобы избежать колебаний скорости травления.

2Ионная инъекция.

Высокоэнергетический ионный луч при бомбардировке кристаллического круга производит концентрированное тепло, машина холодной воды должна охлаждать целевые диски и компоненты пучка, чтобы предотвратить повреждение решетки и неравномерное легирование.

3Диффузия и окисление

При высокой температуре печи холодная вода должна быстро забирать тепло, предотвращать перегрев печи и поддерживать равномерность температуры, чтобы избежать искривления кристаллического круга из - за теплового напряжения.

4Химическая механическая полировка.(СМП)

Полированное трение создает высокую температуру, которая может легко привести к испарению полированной жидкости, машина холодной воды должна охлаждать полировочную прокладку и трансмиссию, чтобы уменьшить дефекты поверхности.

5Пленковые отложения(CVD / PVD)

Высокотемпературный газ в реакционной полости требует быстрого охлаждения для предотвращения побочных реакций* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *Охлаждение распыляемой мишени продлевает срок службы и повышает однородность пленки.

Технические трудности и решения для контроля температуры при высокой эмиссии

1Высокоточный контроль температуры.

Необходимость достижения±0.5℃Точность управления температурой, через многоступенчатую систему охлаждения и динамикуПИДАлгоритм регулируется.

2Способность к быстрому охлаждению

В некоторых сценариях требуется короткое время для достижения большого температурного охлаждения, использование компрессоров и пластинчатых теплообменников для повышения эффективности охлаждения.

3Низкая вибрация и низкий уровень шума

звукоизоляционный кожух компрессора и амортизирующая конструкция предотвращают вибрационные помехи фотолитографии и других процессов.

Интеллектуальность и оптимизация энергоэффективности

Интегрированные датчики давления и электромагнитные тройные клапаны для снижения давления в трубопроводе и переключения внутреннего цикла* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *Интеллектуальные системы мониторинга снижают энергопотребление.

III. Элементы выбора хладагента

1Соответствие холодильного оборудования

Выберите немного больше холодильного оборудования, чем требуется, в зависимости от теплоотдачи оборудования（Если избыточный дизайн)Избегайте отказа контроля температуры из - за перегрузки или неэффективности.

2Выбор способа охлаждения

Предпочтительное водяное охлаждение для сценариев высокой мощности（Высокая эффективность)Ограниченное пространство с воздушным охлаждением.（Гибкий, но менее эффективный)А.

3Соответствие материалов и процессов

Выберите функцию изоляции от взрывов.* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *

Использование преобразователей частоты компрессоров соответствует стандартам производства полупроводниковых заводов.

Сценарий высокой теплоотдачи на полупроводниковом заводе требует высокой точности управления температурой и эффективности охлаждения холодноводящего аппарата, а полупроводниковый охладитель с постоянной температурой в Гуанья поддерживает многоканальное управление температурой, покрывая весь процесс от изготовления кристаллических кругов до испытания упаковки, необходимо адаптировать выбор в сочетании с технологическими потребностями.