В области промышленных вакуумных применений вакуумный контроллер с открытым доступом (On - Off) с его отличной экономической эффективностью и простотой работы стал распространенным выбором для таких процессов, как вакуумная сушка, пропитка и дегазация. Тем не менее, присущая ему модель работы также создает классическую техническую проблему: может возникнуть перегрузка давления.

I. Суть проблемы

Почему контроль не может быть стабильным?

Логика сквозного управления проста и ясна и работает следующим образом:

1.Мониторинг: датчик давления считывает вакуум полости в реальном времени.

2.Сравнение: Контроллер сравнивает значение чтения с заданным пользователем.

3.Выполнение: Когда давление > заданное значение, контроллер включает цепь и начинает накачивать вакуум. При заданном значении давления, контроллер отключает цепь и перестает накачивать вакуум.

Основное противоречие проблемы заключается в отсутствии регулируемого « буфера» между мощной способностью вакуумного насоса к « полномасштабной вытяжке» и крошечной скоростью « собственной утечки / выпуска воздуха» системы.

Этап откачки: насос работает с большой скоростью накачки Z, его пропускная способность намного больше, чем медленная скорость утечки воздуха в системе, что приводит к его легкому прохождению через заданную точку.

Этап остановки: вакуумный насосный трубопровод отключен, но газоотвод полостного материала, небольшая утечка и другие источники газа продолжают импортировать газ в систему, что приводит к медленному восстановлению давления.

II. Путь взлома

1Физическое демпфирование - установка вакуумных буферов

Это физическое решение, которое может быть нацелено на устранение избыточного давления.

Принцип: На трубопроводе между вакуумной полостью и насосом последовательно соединяется вакуумный резервуар (буферный резервуар), объем которого намного больше размера полости.

Роль: Значительно увеличить общий объем системы (газовая емкость). Согласно закону идеального газа, чем больше объем, тем медленнее изменяется давление, вызванное тем же газом load (газовая нагрузка). Это обеспечивает более длительное время реакции для контроллера отключения, значительно сглаживает колебания давления и эффективно снижает перегрузку.

Сценарий применения: особенно подходит для работы небольших полостей с большими насосами, является практическим решением для оптимизации стабильности давления.

2Механическое ограничение потока - установка ручного дросселя

Это недорогостоящая и практичная программа простого преобразования.

Принцип: На передней части воздухозаборника насоса устанавливается ручной игольчатый или прецизионный шаровой клапан.

Роль: механическое ограничение проводимости канала вытяжки путем ручного регулирования открытия клапана, тем самым искусственно снижая эффективную скорость откачки насоса.

Операция:

1.При откачке воздуха клапан переводится в полностью открытое состояние.

2.Когда давление приближается к целевому заданному значению, медленно закрывается небольшой клапан.

3.Наблюдайте изменения давления и стабилизируйте его вблизи целевого значения.

4.На этом этапе контроллер выключения будет осуществлять небольшой диапазон управления запуском и остановкой на ограниченной, более плавной кривой давления, и явление перенапряжения значительно улучшится.

Преимущества: просто, дешево, немедленно вступают в силу.

Недостатки: Предварительная регулировка вручную в соответствии с различными целевыми точками давления не может обеспечить полностью автоматическое интеллектуальное управление.

Применимый сценарий: применение жестких требований к стабильности вакуума, таких как полупроводниковый процесс, оптическое покрытие, научные эксперименты высокого уровня и так далее.