-
Электронная почта
liuyuanzhi@eti-test.com
-
Телефон
19201635557
-
Адрес
Уцзян из Сучжоу отправился в район экономического развития Тунли
Suzhou Yitai Environmental Technology Co., Ltd
Методы определения уровня чистоты в 10 - й чистой комнате, процессы, стандарты и меры предосторожности
Дата:2025-08-25Читать:4
1 Метод обнаружения
Очистительная камера 10 - го уровня (соответствует стандарту ISO Class 4) в качестве контролируемой среды с очень высокими требованиями к чистоте, ее система методов обнаружения строгая и сложная, требует использования специализированных методов обнаружения и точных приборов, таких как счетчик частиц пыли LPC - 8110, принадлежащий компании Etiedt Yitai Environmental Technology Co., Ltd. в Сучжоу, поток отбора проб 28,3 L / MIN, а также восемь каналов диаметра частиц.
Обнаружение концентрации взвешенных частиц:
Метод счетчика частиц: счетчик частиц, использующий принцип рассеяния света в качестве основного контрольного устройства, должен обладать способностью распознавать диаметр частиц (способных различать частицы от 0,1 до 5,0 мкм), широким диапазоном концентраций и эффективностью подсчета, соответствующей стандартным требованиям. Перед проверкой необходимо подтвердить, что прибор имеет действительный сертификат соответствия калибровке для обеспечения точности результатов измерений.
Требования к отбору проб: Минимальное количество проб в каждой точке отбора проб должно быть не менее 0,3 л, а фактическое количество проб должно быть определено с помощью формулы VS = (20 / Cn.m) × 1000, в которой Cn.m представляет собой предельную концентрацию для соответствующего диаметра частиц в 10 - ступенчатой чистой камере (≥0,5 мкм частиц не более 35 / м³). Время отбора проб обычно составляет не менее 1 минуты, чтобы обеспечить репрезентативность выборки.
Размещение точек отбора проб: в соответствии со стандартами ISO 14644 - 1 и GB / T 16292 - 2008, в 10 - ступенчатой камере должно быть не менее 20 точек отбора проб с регулируемым расстоянием между точками 0,5 - 2,0 м. Места отбора проб должны быть равномерно распределены по всему рабочему району чистой камеры с уделением особого внимания ключевым технологическим областям и районам интенсивной деятельности персонала. Высота отбора проб обычно устанавливается на высоте рабочей плоскости (0,8 - 1,2 м), чтобы отразить чистоту фактической рабочей среды.
Сбор и обработка данных: каждая точка отбора проб должна быть взята три раза подряд, а среднее значение должно использоваться в качестве измеренного значения для этой точки. Класс окончательной чистоты камеры 10 - го уровня определяет максимальную (а не среднюю) величину каждой точки измерения, отражающую строгие требования к наиболее слабым звеньям
2. Процесс проверки
Процессы тестирования в 10 - ступенчатой чистой комнате следуют строгой логической последовательности и оперативным инструкциям для обеспечения надежности и повторяемости результатов испытаний. Полное тестирование обычно делится на три этапа:
2.1 Этап подготовки
Системная очистка и самоочищение: перед тестированием необходимо провести полную очистку чистой комнаты и ее системы кондиционирования воздуха для очистки (без использования обычных пылесосов), уборщики должны носить специальную чистую одежду. После очистки очистительная система кондиционирования воздуха должна работать непрерывно не менее 12 часов, чтобы окружающая среда достигла стабильного состояния.
Подтверждение условий окружающей среды: регистрировать и подтверждать, что основные параметры, такие как температура в чистом помещении (обычно контролируемая на уровне 20 - 24°C), относительная влажность (45% - 65%) и освещенность (≥300 lux), соответствуют требованиям обнаружения.
Эффективный фильтр Предварительное обнаружение утечки: Предварительная проверка целостности фильтра перед официальным обнаружением, чтобы гарантировать, что последующие подсчеты частиц не будут затронуты утечкой фильтра. На этом этапе обнаружение утечки должно быть немедленно устранено.
2.2 Этапы обнаружения основных параметров (в логическом порядке)
Измерение количества ветра / скорости ветра и количества вентиляции:
Сначала измерьте общую подачу воздуха, общую отдачу воздуха, количество свежего воздуха и количество выхлопных газов, чтобы подтвердить баланс количества воздуха в системе.
Для чистых камер одностороннего потока измеряется скорость ветра в сечении рабочей зоны, рассчитывается неравномерность (не должна превышать 0,25).
Для чистых камер, не связанных с односторонним потоком, рассчитывается количество продувок (для очистных камер 10 - го уровня обычно требуется ≥60 раз в час).
Обнаружение перепада статического давления:
После того, как проверка количества воздуха пройдет, убедитесь, что все двери закрыты.
Для измерения перепада давления между чистой камерой и прилегающей зоной, областью с различными уровнями чистоты, используется микробарометр (точность 0,1 Па).
Требования к чистой камере уровня 10: одинаковый региональный перепад давления на одном и том же уровне чистоты; Различные уровни чистоты: перепад давления в прилегающих районах ≥ 5 Па; перепад давления между чистыми и нечистыми зонами ≥ 10 Па.
Эффективный фильтр для официального обнаружения:
В качестве предварительного условия для проверки чистоты проводится проверка количества ветра, скорости ветра и перепада статического давления.
В соответствии с вышеуказанным методом проводится полное сканирование и обнаружение утечки, обнаруживается, что точка утечки своевременно помечена и исправлена, после ремонта повторно проверяется до тех пор, пока она не будет квалифицирована.
Проверка чистоты воздуха:
Проверка утечки проводится после прохождения проверки, чтобы избежать искажения данных из - за утечки фильтра.
Определение концентрации взвешенных частиц производится в соответствии с заданной конфигурацией точек отбора проб, в каждой точке три раза подряд отбираются средние значения.
Добавьте точки отбора проб микроорганизмов в ключевые операционные зоны (например, точки наполнения, операционные станции) для обнаружения зоопланктона и оседания бактерий.
Проверка времени самоочищения:
После мониторинга загрязнения с помощью искусственного введения аэрозолей (например, дыма) или счетчиков частиц измеряется время, необходимое для восстановления чистой камеры от состояния высокой концентрации до уровня 10.
Время самоочищения в 10 - й камере очистки обычно составляет 1 минуту.
Тестирование потока и направления:
Используйте видимый дым в сочетании с высокоскоростной камерой для наблюдения и записи режима воздушного потока, чтобы проверить, есть ли обратный поток, вихрь или мертвая зона.
Подтверждение того, что направление потока соответствует принципу потока из чистой зоны в зону низкого уровня.
3 Стандарты тестирования
Стандартная система испытаний для экологически чистых помещений 10 - го уровня охватывает международные стандарты, национальные стандарты и отраслевые нормы, формируя полную систему технических требований.
3.1 Критерии основных параметров
Концентрация взвешенных частиц: на основе стандартов ISO 14644 - 1 и GB / T 16292 - 2008
4. Внимание
В ходе испытаний 10 - го класса необходимо обратить внимание на ряд ключевых контрольных точек, которые напрямую связаны с точностью и надежностью результатов.
4.1 Управление данными и требования к отчетности
Целостность электронных данных: при использовании компьютеризированных систем для записи данных необходимо соблюдать принципы ALCOA + (поддающиеся атрибуции, четкие, синхронизированные, оригинальные, точные) и включить функцию отслеживания аудита для предотвращения фальсификации данных.
Правила бумажной записи: ручная запись должна быть сделана с использованием постоянных чернил, заполнить спецификацию, изменить место подписи и указать дату. Исходные данные должны храниться вместе с окончательным отчетом.
Целостность содержания отчета: Официальные отчеты об испытаниях должны содержать такие элементы, как карта распределения точек отбора проб, условия испытаний (температура и влажность, перепад давления), информация о калибровке прибора, результаты испытаний, стандартные пределы, заключение и подпись проверяющего.
Срок хранения: Срок хранения записей и отчетов об испытаниях должен превышать срок действия произведенной продукции не менее одного года, что соответствует требованиям к ретроактивному качеству.
5. Резюме
В качестве одной из самых требовательных контролируемых сред для очистки, комната очистки 10 - го уровня является технической и требовательной профессиональной деятельностью. Благодаря научно стандартизированным методам обнаружения (метод счетчика частиц, испытание скорости ветра, обнаружение утечки фильтров и т. Д.), строгому процессу выполнения (подготовка системы → обнаружение параметров → анализ данных), строгим стандартным требованиям (статические стандарты ISO Class 4) и всеобъемлющим мерам предосторожности (управление персоналом, управление приборами, предотвращение помех и т. Д.), чтобы точно оценить производительность чистой комнаты и обеспечить надежную экологическую безопасность для высококачественной производственной и научно - исследовательской деятельности.
Основные принципы реализации можно резюмировать следующим образом: строгое соблюдение национальных стандартов и отраслевых норм; Уделение приоритетного внимания наиболее уязвимым звеньям (например, границам, стыкам); Реализация иерархической стратегии управления (статическое и динамическое сочетание); Создать механизм постоянного мониторинга (ежедневный мониторинг + регулярное всестороннее тестирование). Вместе эти принципы составляют технический краеугольный камень 10 - го уровня экологической безопасности чистых камер и обеспечивают ключевую техническую поддержку для контроля качества в высокотехнологичных областях производства полупроводников и высококачественной биомедицины.
Следующая статья:Важная роль планктона: хранитель невидимых границ