Сучжоу Икан

Программа проверки чистых помещений электронной промышленности

Проект обнаружения чистой камеры: количество воздухообмена (скорость ветра), перепад давления, температура, влажность, шум, освещенность, чистота (частицы пыли)

Подразделения - клиенты:***Электронная компания

Список контрольно - измерительных приборов

1Испытания на скорость ветра или скорость ветра должны соответствовать следующим требованиям:

1 Для чистых камер одностороннего потока подача воздуха должна определяться методом средней скорости ветра по сечению и умножения сечения и должна быть удалена из высокоэффективного фильтра300 ммОтрезание перпендикулярно воздушному потоку в качестве тестовой плоскости. Испытательная плоскость должна быть разделена на равные решетки, размер каждой решетки должен быть600 мм × 600 ммили размер конечного воздушного фильтра, точка измерения должна находиться в центре решетки или не должна быть меньше 3 Точка. Время тестирования не должно быть меньше10-х. Следует регистрировать средние, максимальные и минимальные значения и использовать среднее арифметическое значение в качестве средней скорости ветра.

2 Для камер, не имеющих одностороннего потока, время тестирования в каждой точке не должно быть меньше10-хА.

3 На каждом конце воздушного фильтра метод капота и т. Д. Измеряют скорость ветра, чтобы определить подачу воздуха, количество точек для каждого испытательного положения не должно быть меньше 3 Точка.

2 Испытание на перепад статического давления должно соответствовать следующим требованиям:

1 Измерение перепада статического давления должно проводиться при закрытии всех дверей.

2 В приборе должны использоваться различные типы микроманометров, чувствительность прибора должна быть меньше1.0ПаА.

3 Если в здании имеется несколько чистых комнат (зон), они должны начинаться с испытания перепада давления между самой внутренней комнатой и соседней комнатой и должны быть проверены в порядке наружу.

4В каждой комнате проводится тест.

3. Проверка чистоты должна соответствовать следующим требованиям:

1 При выборке следует использовать больше1 л/минОптический счетчик частиц должен выбирать прибор в соответствии с требованиями, такими как способность распознавания диаметра частиц, диапазон применения концентрации частиц и эффективность подсчета. Инструменты должны иметь действительный сертификат соответствия.

2 Минимальная точка отбора проб должна быть рассчитана следующим образом:

НЛ=√АФормула - Да.Минимальная точка отбора проб;

а) -Площадь чистой комнаты или предполагаемой чистой зоны (м²В)).

Места отбора проб должны быть равномерно распределены по всей площади очистной камеры (зоны) и должны быть расположены на высоте рабочей зоны.

3 Объем каждой выборки в каждой точке должен определяться следующим образом:

ВС=[...]20/Сн, м]да100

Формула против –Количество проб, взятых в каждой точке отбора проб,ЛВыражение, когдаVsВ больших случаях можно использовать метод последовательного отбора проб. Минимальное время отбора проб для каждой точки1 минутаОбъем выборки должен быть не менее2л* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *

Сн, м- Да.Пределы диаметра измеренных частиц для оценки чистоты воздуха в чистой камере (р/м³);

Двадцать...Число измеримых частиц (частиц) при установлении предела чистоты воздуха для частиц измеренного размера частиц.

Расчет количества проб в отдельных точках отбора проб в камерах очистки всех уровней

1. Чистая комната (например, 1 Мастерская,2 / 3Лаборатория)

˜≥0.5мкмВыбор частицА.

· ВС=[...]20/Сн, м]да100 =[20 / 3520] да100=0,568л

· В результате расчетов (0,568л) <2лНужно взять по обязательному требованию2лА.

˜≥5мкмВыбор частицА.

· ВС=[...]20/Сн, м]да100 =[20 / 29] да100=68,97 л

• Критерии практической реализации:: Отдельные точки отбора проб в 100 - ступенчатой камере должны быть≥68,97 лОтбор проб (с учетом двух диаметров зерна) с использованием100л/минСчетчик, время отбора проб1минута

2. Чистая комната (например, 5 Мастерская)

˜≥0.5мкмВыбор частицА.

· ВС=[...]20/Сн, м]да100 =[20 / 35200] да100=0,0568л

· В результате расчетов (0,0568л) <2лНужно взять по обязательному требованию2лА.

˜≥5мкмВыбор частицА.

· ВС=[...]20/Сн, м]да100 =[20 / 293] да100=6,83л

• Критерии практической реализации:: Отдельные точки отбора проб в 100 - ступенчатой камере должны быть≥68,97 лОтбор проб (с учетом двух диаметров зерна) с использованием100л/минСчетчик, время отбора проб1минута

3.Очистительная комната

˜≥0.5мкмВыбор частицА.

· ВС=[...]20/Сн, м]да100 =[20 / 352000] да100=0,00568л

· В результате расчетов (0,00568л) <2лНужно взять по обязательному требованию2лА.

˜≥5мкмВыбор частицА.

· ВС=[...]20/Сн, м]да100 =[20 / 2930] да100=0,683л

• Критерии практической реализации:: Унифицированная точка отбора проб в камере очистки 10 000≥2LВремя отбора проб при использовании произвольного счетчика расхода≥1 мин(Например,100л/минТест выборки счетчика1Минуты)

4Количество выборок

Размер выборки не должен быть меньше2Общее количество выборки не менее5раз

4Проверка температуры, относительной влажности должна соответствовать следующим требованиям:

1 Проверка температуры и относительной влажности должна проводиться в условиях равномерного распределения потоков воздуха в чистой камере (зоне) и должна быть организована после того, как система кондиционирования воздуха для очистки будет успешно введена в эксплуатацию. Проверка температуры и влажности должна проводиться после того, как система кондиционирования воздуха уже функционирует и, по крайней мере, работает стабильно.

2 Для определения относительной влажности чистая рабочая область должна быть разделена на равномерную сетку, максимальная площадь каждой ячейки должна быть100м²В каждой ячейке должна быть одна точка измерения, но в каждой комнате должно быть не менее 2 Количество точек измерения.

3 Детектор обнаружения должен находиться на рабочей высоте в чистой комнате (зоне) и находиться не менее, чем на потолке, стене и земле чистой камеры (зоны)300 мм. Следует также учитывать воздействие возможных источников тепла в чистых камерах (зонах).

4 Время проверки должно быть как минимум1.0чИ должны быть как минимум6 минутпроводить 1 Подпункт (30-х) Показания, записи.

5.Проверка освещенности должна соответствовать следующим требованиям:

1 Для проверки освещенности в чистых камерах (зонах) следует использовать портативный автоматический регистрирующий фотометр.

2 Проверка освещенности должна проводиться после стабилизации температуры в помещении и стабильного выхода света из источника света. Проверка освещенности в чистых камерах (зонах) не должна включать местное и резервное освещение, например, производственного оборудования.

3 Точки контроля освещенности должны располагаться на рабочей высоте, желательно на расстоянии от земли0,85 мСледует каждый25м²Установите точку измерения.

6Обнаружение шума.

Е.6.1Как правило, можно проверить толькоАУровень шума, при необходимости, с помощью анализатора диапазона умножения, по центральной частоте 63、125、250、500、1000、2000、4000А8000ГцУдвоение частоты, близ точки измерения1мВнутри не должно быть рефлексов. Минимальная шкала звукометра не должна быть ниже0,2 дБ(АВ)).

Е.6.2Высота точки над землей1,1 м. Площадь в15 м²Следующие чистые камеры, только центр камеры 1 Точка,15 м²Чистая комната выше центра. 1 За пределами точки следует повторно измерить диагональ 4 Точки, от каждой боковой стены1мТочки измерения направляются в различные углы.

Е.6.3При очистке камеры для смешанного потока шум в области одностороннего потока и области, не связанной с односторонним потоком, должен быть измерен отдельно.

Е.6.4При наличии условий, следует измерить фоновый шум после прекращения работы системы очистки воздуха, разница между внутренним шумом и фоновым шумом меньше10 дБ(АПри этом следует корректировать значение точки измерения: разница (6...9)дБ(А) Минус1дБ(А) Разница (4...5)дБ(А) Минус2дБ(А) Разница3дБ(А) Минус3дБРазница меньше3дБ(АПри измерении значения недействительны.

7Критерии определения