В основе управления перепадом давления в чистой камере лежит направление воздушного потока через градиент давления, в сочетании с динамическим регулированием количества воздуха и физической изоляцией структуры для достижения физического барьера загрязняющих веществ. Все они знакомят вас с соответствующими знаниями.

I. ОСНОВНЫЕ ПРИНЦИПЫ

Управление воздушным потоком ‌

Использование перепада давления для направления потока воздуха из зоны высокой чистоты в зону низкой чистоты или зону контроля за загрязнением. Давление в производственной зоне высокой чистоты выше, чем во вспомогательной зоне, направление потока воздуха из производственной зоны во вспомогательную зону, а затем через вытяжную систему.

Поддержание перепада давления ‌

Чистая камера образует барьер одностороннего воздушного потока, контролируя перепад статического давления с соседним пространством. Очистительная камера с положительным давлением предотвращает проникновение внешних загрязнителей, подавая больше воздуха, чем продувка и вытяжка воздуха. Очистительная камера с отрицательным давлением через вытяжку воздуха больше, чем подача воздуха, чтобы избежать внутренней утечки вредных веществ.

II. Ключевые методы контроля

1. Баланс вентиляции, вентиляции и вентиляции.

Регулируя подачу воздуха в систему кондиционирования воздуха, открытие вентиляционного отверстия и открытие вентиляционного клапана, динамический баланс ветра плохой.

Классификация перепада давления ‌

Одна и та же чистая зона ‌ основана на коридоре, а уровни давления в каждой комнате распределены по лестнице ‌. Различные уровни чистоты ‌ Разница давлений в соседних областях ≥ 5Па. Если 10 000 чистых зон должны быть выше, чем 100 000, то 100 - уровневая зона должна быть выше ‌.

Структурно - вспомогательный дизайн ‌

Буферный отсек и шлюзовая камера используют структуру взаимных замков, чтобы уменьшить помехи воздушного потока при открытии двери. Камера шлюза отрицательного давления может изолировать различные чистые зоны. Клапан избыточного давления или датчик диффузного давления автоматически регулирует открытие клапана избыточного давления или соединяет вентиляционный / выпускной клапан, компенсируя колебания перепада давления в реальном времени.

III. Применение специальных сценариев

Контроль разницы в влажности ‌

Сухая и чистая камера должна поддерживать положительное давление, чтобы избежать потока влажного воздуха в соседней зоне с высокой влажностью.

Контроль отрицательного давления ‌

В чистых камерах, где производятся токсичные газы и высокочувствительные препараты, необходимо поддерживать отрицательное давление для предотвращения распространения загрязняющих веществ.

IV. Динамический мониторинг и корректировка

Данные мониторинга в режиме реального времени с помощью датчика перепада давления, в сочетании с системой автоматического управления для регулировки вентиляционного клапана, частоты вентилятора и других параметров, чтобы справиться с колебаниями перепада давления, вызванными запуском и остановкой оборудования и изменениями окружающей среды.