Молекулярный насосЭто вакуумный насос, который использует высокоскоростной вращающийся ротор для передачи импульса молекуле газа, чтобы получить направленную скорость, которая сжимается и выталкивается к выпускному отверстию для передней ступени. Такие насосы можно разделить на:
1.Молекулы газа буксируемого молекулярного насоса получают импульс при столкновении с ротором высокоскоростного движения и направляются на выход насоса.
2.Турбовые молекулярные насосы используют высокоскоростные вращающиеся движущиеся и неподвижные лопасти для достижения вытяжки. Такие насосы обычно работают в состоянии молекулярного потока.
3.Комбинированный молекулярный насос представляет собой комбинированный молекулярный вакуумный насос состоящий из двух молекулярных насосов турбинного и тягового типа.
составной молекулярный насосЭто последовательное сочетание турбомолекулярного насоса и тягового молекулярного насоса, которое сочетает в себе преимущества двух насосов. Насосы в широком диапазоне давления (10 - 6 - 1Па) имеют большую скорость накачки и более высокий коэффициент сжатия, что значительно повышает выходное давление насоса. Существует много форм композитных молекулярных насосов, разделенных по структуре, есть два основных типа: одна - последовательная комбинация лопастей турбины и дисковых тяговых насосов; Другой - последовательное соединение лопастей турбины с цилиндрическим тяговым насосом; Ниже приводится информация:
1 Уровень турбиныВ основном используется для увеличения скорости накачки насоса, как правило, с использованием формы лопасти, способствующей увеличению скорости накачки, ряд в пределах уровня L0. Тяговая ступень в основном используется для увеличения коэффициента сжатия насоса и повышения давления на выходе насоса.
2, дисковая тяговая ступеньНа плоскости плоского диска в соответствии с определенным законом открывается несколько линейных канавок, а затем несколько дисковых строк соединяются, чтобы сформировать линию типа с Архимедовой спиралью, логарифмической спиралью, дугой и так далее. При откачке молекулы газа « перетаскиваются » дисками, вращающимися на высокой скорости, так что они перемещаются по канавке в направлении обратного потока изнутри наружу и назад - назад изнутри, тем самым достигая цели откачки.