Турбовый молекулярный насос - это механический вакуумный насос, который переносит молекулярное движение газа с помощью высокоскоростного вращающегося ротора, чтобы получить сверхвысокий вакуум. Он состоит из динамического и статического крыльчатки, который более энергоэффективен, чем диффузионный насос, загрязнен нефтью и паром, и в то же время имеет характеристики большой скорости накачки и высокого коэффициента сжатия при молекулярном потоке. В настоящее время молекулярный насос с большой скоростью накачки в Китае обрабатывается с переменным сечением, его прочность увеличивается и уменьшается, а производительность молекулярного насоса более надежна
Внимание работе турбомоторных насосов.
♦ Нельзя останавливать турбомолекулярный насос во время работы переднего насоса (подключение передней ступени трубопровода) и в вакуумной камере в вакууме, иначе пар масла быстро возвращается из передней ступени в чистый конец насоса.
♦ Молекулярная насосная система перед остановкой для наполнения сухим газом должна сначала отключить охлаждающую воду молекулярного насоса и надувать ее с высокого вакуумного конца насоса. Нельзя надувать из передней ступени насоса.
♦ Выберите большой час насоса передней ступени системы, чтобы передняя ступень турбомольного насоса оставалась в состоянии молекулярного потока.
♦ Нельзя допускать, чтобы турбомольные насосы работали на скоростях ниже номинальных.
♦ Вход молекулярного насоса должен быть снабжен защитной сеткой, чтобы избежать попадания инородного тела в насос и повреждения ротора насоса и лопастей статора.
Области применения турбомольных насосов включают, но не ограничиваются:
♦ Анализ (масс - спектрометрические анализаторы, электронные микроскопы и т.д.).
♦ Полупроводниковая промышленность (электронные компоненты, интегральные схемы, солнечные батареи и т.д.).
♦ Оптическая / стеклянная промышленность (теплоизоляция, защита от отражения, отражение, покрытие оптической фильтрации и т.д.).
♦ Технология покрытия (поверхностная защита, декоративное покрытие, дисплей, экран и т.д.).
♦ Вакуумная плавка (вакуумная сварка, вакуумное спекание, вакуумные сплавы, вакуумные печи и т.д.).
♦ Технология обнаружения течи (вакуумное оборудование, топливные баки транспортных средств, подушки безопасности, упаковка и т.д.).
♦ Научное оборудование (ядерная физика, исследования реакций синтеза, лазерное применение и т.д.).
♦ Промышленность осветительных приборов (производство лампочек).