I. ОБЩИЙ ОБЗОР ‌

Вакуумный агрегат Rotz - это высокоэффективная многоступенчатая комбинированная вакуумная насосная система, состоящая из насоса Roots (Roots Pump) ‌ и последовательного соединения вакуумного насоса. Этот агрегат сочетает в себе большую скорость накачки насоса Rotz и преимущество высокого коэффициента сжатия роторного насоса, широко используется в промышленных областях, требующих среднего и высокого вакуума (10 ⁻² ~ 10 ⁻Pa), таких как производство полупроводников, вакуумное покрытие, фармацевтическая химия и так далее.

ii) Принцип работы

‌ 1, насос Rotz (главный насос) ‌

• Использование пары колес (роторов) с синхронным обратным вращением для перемещения газа от впускного отверстия к выпускному отверстию посредством бесконтактного зацепления.

• Отсутствие внутреннего сжатия, использование высокоскоростного вращения для достижения большой скорости накачки (до 1000 - 20000 м³ / ч).

• Необходимо использовать с передним насосом (роторным насосом), так как сам насос Rotz не может напрямую выводить усиленный атмосферный газ.

‌ 2, роторный насос (передний насос) ‌

• Газ сжимается и выделяется с помощью эксцентричных роторов и спиральных пластин, обеспечивая первичный вакуум (предельный вакуум около 10⁻Па).

• Создание среды низкого противодавления для насосов Rotz для обеспечения эффективной работы агрегата.

3. Совместный рабочий процесс

• Газ сначала перекачивается спиральным насосом в средний вакуумный диапазон (1–10 Па), затем запускается насос Rotz, чтобы дополнительно увеличить вакуум до более высокого уровня.

III. Технические характеристики

· 1 Эффективное энергосбережение

• Насос Rotz имеет значительно более высокую скорость накачки в диапазоне низкого давления, чем одноступенчатый ротационный насос, и потребление энергии на 30% - 50% ниже, чем у обычных агрегатов.

2. Широкий круг работ

• Покрытие вакуума от среднего до высокого вакуума (10⁵ ~ 10⁻Па), адаптация к требованиям многовариантного процесса.

Низкая вибрация и низкий уровень загрязнения

• Безмасляный насос Rotz спроектирован таким образом, чтобы уменьшить загрязнение, роторный насос может быть смазан альтернативным маслом или сухой (безмасляный роторный насос), отвечающий требованиям к чистоте.

‌ Умный контроль ‌

• Современные агрегаты оснащены системой управления PLC, которая автоматически регулирует скорость насоса, защиту от перегрузки и порядок пуска и остановки.

‌ Типичный сценарий применения ‌

‌ 1 Фотоэлектрический и полупроводниковый ‌

• Поддержание вакуумной среды для покрытия кристаллической окружности и оборудования для травления.

2. Химическая и фармацевтическая промышленность

• Процесс рекуперации растворителей, вакуумной сушки, молекулярной дистилляции и т.д.

3 Научные исследования и лаборатории

• Установки синхронного излучения, вакуумные сушилки для замораживания и т.д.

‌ 4. Упаковка пищевых продуктов

• Быстрое удаление воздуха из упаковки, продление срока годности.