Вакуумметр Inficon - это прибор для измерения давления газа (плотность воздуха ниже атмосферного давления) в зоне высокого вакуума. Принцип его работы основан на столкновениях между молекулами газа и поверхностью, а также на характеристиках движения молекул газа в вакууме.
Существует множество типов, и эти приборы работают по различным принципам, таким как поток термоэлектронов и катодных анионов, поглощение большого потока, объемное измерение давления и вибрация. Различные вакуумметры имеют различные характеристики, преимущества и недостатки, и можно выбрать подходящий прибор в соответствии с фактическими потребностями.
Основные принципы вакуумметра Inficon:
Включает два электрода, один из которых является анодом (электронно - лучевая трубка или электронная пушка), а другой - катодом (приемником). При добавлении высоковольтного источника питания анод излучает электронный луч и при прохождении через вакуумную область сталкивается с молекулами газа, ионизируя их и создавая электронные ионные пары. Эти пары ионов движутся под действием электрического поля и генерируют ток на поверхности катода.
Используя различные электродные конструкции и схемы, вакуумметр может достигать различных диапазонов измерений и чувствительности. Среди них вакуумметр с тепловым катодом использует принцип тепловой эмиссии электронов для создания электронов в вакуумной области и вычисляет давление газа путем столкновения электронов с молекулами газа; С другой стороны, вакуумметр с холодным катодом измеряет давление воздуха путем адсорбции и десорбции газа на поверхности катода, а его чувствительность выше, чем у вакуумметра с тепловым катодом, и подходит для более широкого диапазона измерений.
Иными словами, вакуумметры Inficon широко используются во многих областях применения, таких как солнечные батареи, исследования материалов в области микроэлектроники, полупроводниковые заводы и авиационные заводы. Различные вакуумметры имеют разные диапазоны измерений, объем, чувствительность и другие характеристики. Поэтому при выборе и использовании вакуумного хронометра необходимо проводить оценку с учетом реальной ситуации, чтобы выбрать подходящий прибор.